|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
190283 |
| 005 |
20250829122104.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\207256
|
| 090 |
|
|
|a 190283
|
| 100 |
|
|
|a 20110119d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига
|f А. О. Лязгин, А. И. Козельская
|g науч. рук. А. В. Панин
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 2 назв.
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\199176
|t Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
|o сборник докладов I Университетской конференции студентов элитного технического образования, 19-20 апреля 2010 г. г. Томск
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|v С. 115-118
|d 2010
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a термический отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a промежуточные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a деградация
|
| 610 |
1 |
|
|a медь
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные напыления
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Лязгин
|b А. О.
|
| 701 |
|
1 |
|a Козельская
|b А. И.
|c физик
|c научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1985-
|g Анна Ивановна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\39662
|9 21043
|
| 702 |
|
1 |
|a Панин
|b А. В.
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110119
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171018
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
