Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Weitere Verfasser:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель), Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный консультант)
Zusammenfassung:	Защита сост. 29.12.2010 г.
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Томск, 2010
Schlagworte:	Магнетроны Плазменное напыление в вакууме магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189777

Ähnliche Einträge

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
von: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Veröffentlicht: (Томск, 2010)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
von: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Veröffentlicht: (Томск, 2010)

Магнетроны: пер. с англ.
von: Фиск Д.
Veröffentlicht: (Москва, Советское радио, 1948)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, 2017)

Релятивистские магнетроны
von: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Veröffentlicht: (Москва, Физматлит, 2013)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
von: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2017)

Клистроны, магнетроны, лампы бегущей волны: учебное пособие для вузов
von: Плонский А. Ф.
Veröffentlicht: (Новосибирск, Изд-во НИСИ, 1978)

Технология и оборудование вакуумного напыления
von: Никитин М. М. Михаил Михайлович
Veröffentlicht: (Москва, Металлургия, 1992)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика
von: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Veröffentlicht: (2010)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
von: Пархоменко Ю. Н.
Veröffentlicht: (Москва, МИСИС, 2017)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец.01.04.20
von: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 1988)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец. 01.04.20
von: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 1988)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.09.04
von: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 1979)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
von: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Veröffentlicht: (2008)

Comparative study of Cu films prepared by DC, high power pulsed and burst magnetron sputtering; Journal of Electronic Materials; Vol. 45, iss. 8
Veröffentlicht: (2016)

Радиопередающие устройства сверхвысоких частот: [учебное пособие]
von: Минаев М. И. Михаил Иванович
Veröffentlicht: (Минск, Вышэйшая школа, 1978)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.04
von: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 1979)

Экспериментальные исследования теплового состояния электромагнита магнетрона; Современные техника и технологии
von: Митюшкина В. Ю.
Veröffentlicht: (2000)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Veröffentlicht: (2019)

Вып. 62; Радиотехника
Veröffentlicht: (1982)

Модифицирование полимеров медицинского назначения методом ВЧ-магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Veröffentlicht: (2013)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Veröffentlicht: (2018)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Veröffentlicht: (2022)

Magnetron Discharge in the Diode with a Liquid-Metal Target; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Veröffentlicht: (2004)

Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 1
von: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Veröffentlicht: (2010)

Comparison of glow, arc, and magnetron direct current discharges; Resource-Efficient Technologies; No 2
von: Abrahamyan A. S.
Veröffentlicht: (2019)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
von: Жукова М. А.
Veröffentlicht: (2007)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
von: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Veröffentlicht: (2020)

Влияние обработки поверхности титана ВТ 1-0 перед напылением магнетронных покрытий на топографию и физико-химические свойства; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Veröffentlicht: (2012)

Методы модуляции и сканирования света
von: Мустель Е. Р. Елена Рудольфовна
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1970)

Технология первичной переработки нефти и природного газа: учебное пособие
von: Мановян А. К. Андраник Киракосович
Veröffentlicht: (Москва, Химия, 2001)

Структурно-фазовое состояние наноструктурных многослойных покрытий сформированных методом магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
von: Бардова А. Е.
Veröffentlicht: (2015)

Façaden und Details. Wien. 1900: Sechzig Lichtdruck- Blatter Teils nach Naturaufnahmen Teils nach Originalzeichnungen
von: Grüner O.
Veröffentlicht: (Wien, Kunstverlag Anton Schroll & Co, 1900)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода; Водород. Технологии. Будущее
Veröffentlicht: (2021)

Фазовые превращения в наноструктурных покрытиях на основе Zr-Y-O сформированных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Бардова А. Е.
Veröffentlicht: (2015)

Спектроскопия вакуумного ультрафиолета
von: Зайдель А. Н. Александр Натанович
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1967)

Analysis of work and efficiency increase of of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
Veröffentlicht: (2017)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
Veröffentlicht: (2016)