Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Andre forfattere:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель), Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный консультант)
Summary:	Защита сост. 29.12.2010 г.
Sprog:	russisk
Udgivet:	Томск, 2010
Fag:	Магнетроны Плазменное напыление в вакууме магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189777

Lignende værker