Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Outros autores:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель), Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный консультант)
Summary:	Защита сост. 29.12.2010 г.
Idioma:	ruso
Publicado:	Томск, 2010
Subjects:	Магнетроны Плазменное напыление в вакууме магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189777

Títulos similares