Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Άλλοι συγγραφείς:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель), Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный консультант)
Περίληψη:	Защита сост. 29.12.2010 г.
Γλώσσα:	Ρωσικά
Έκδοση:	Томск, 2010
Θέματα:	Магнетроны Плазменное напыление в вакууме магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Μορφή:	Βιβλίο
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189777

Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:	20 с. ил.
Περίληψη:	Защита сост. 29.12.2010 г.

Παρόμοια τεκμήρια