Нечаев М. А. Михаил Анатольевич, Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович, & Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2010). Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03. Томск, 2010.
Cita Chicago Style (17a ed.)Нечаев М. А. Михаил Анатольевич, Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович, y Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03. Томск, 2010, 2010.
Cita MLA (9a ed.)Нечаев М. А. Михаил Анатольевич, et al. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03. Томск, 2010, 2010.