Нечаев М. А. Михаил Анатольевич, Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович, & Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2010). Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03. Томск, 2010.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Нечаев М. А. Михаил Анатольевич, Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович, và Дементьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03. Томск, 2010, 2010.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)Нечаев М. А. Михаил Анатольевич, et al. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03. Томск, 2010, 2010.