Влияние магнитной системы МРС на зону распыления мишени-катода

書誌詳細
Parent link:Инновационные технологии и экономика в машиностроении: сборник трудов Международной научно-практической конференции с элементами научной школы для молодых ученых, 20-21 мая 2010 г. г. Юрга/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Юргинский технологический институт (ЮТИ); под ред. Д. А. Чинахова. С. 161-163.— , 2010.— 978-5-98298-642-9
第一著者: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
その他の著者: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович, Кривобоков В. П. Валерий Павлович
出版事項: 2010
主題:
フォーマット: 図書の章
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189099

類似資料