Влияние магнитной системы МРС на зону распыления мишени-катода; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
| Parent link: | Инновационные технологии и экономика в машиностроении.— 2010.— С. 161-163 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Language: | Russian |
| Published: |
2010
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189099 |