Влияние магнитной системы МРС на зону распыления мишени-катода

Bibliographic Details
Parent link:	Инновационные технологии и экономика в машиностроении: сборник трудов Международной научно-практической конференции с элементами научной школы для молодых ученых, 20-21 мая 2010 г. г. Юрга/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Юргинский технологический институт (ЮТИ); под ред. Д. А. Чинахова. С. 161-163.— , 2010.— 978-5-98298-642-9
Main Author:	Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Other Authors:	Ибрагимов Е. А. Егор Артурович, Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published:	2010
Subjects:	распыление магнетроны магнитное поле моделирование компьютерные модели программные комплексы магнитная индукция труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189099

Similar Items