Влияние магнитной системы МРС на зону распыления мишени-катода; Инновационные технологии и экономика в машиностроении

Dades bibliogràfiques
Parent link:Инновационные технологии и экономика в машиностроении.— 2010.— С. 161-163
Autor principal: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Altres autors: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович, Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Idioma:rus
Publicat: 2010
Matèries:
Format: MixedMaterials Capítol de llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=189099

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 189099
005 20240212114015.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\205412 
090 |a 189099 
100 |a 20101220d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Влияние магнитной системы МРС на зону распыления мишени-катода  |f О. Х. Асаинов, Е. А. Ибрагимов, В. П. Кривобоков 
320 |a Библиогр.: 3 назв. 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\199146  |y 978-5-98298-642-9  |t Инновационные технологии и экономика в машиностроении  |o сборник трудов Международной научно-практической конференции с элементами научной школы для молодых ученых, 20-21 мая 2010 г. г. Юрга  |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Юргинский технологический институт (ЮТИ); под ред. Д. А. Чинахова  |v С. 161-163  |d 2010  |p 577 с. 
610 1 |a распыление 
610 1 |a магнетроны 
610 1 |a магнитное поле 
610 1 |a моделирование 
610 1 |a компьютерные модели 
610 1 |a программные комплексы 
610 1 |a магнитная индукция 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Асаинов  |b О. Х.  |c физик  |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук  |f 1957-  |g Олег Хайдарович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25109 
701 1 |a Ибрагимов  |b Е. А.  |c специалист в области машиностроения  |c старший преподаватель Юргинского технологического института (филиала) Томского политехнического университета, кандидат технических наук  |f 1983-  |g Егор Артурович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27431  |9 12741 
701 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |9 9290 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20101220 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160407  |g RCR 
942 |c BK