Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Козин К. А. Кирилл Андреевич
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Andre forfattere:	Ливенцов С. Н. Сергей Николаевич (научный руководитель)
Summary:	Защищена 22.12.2010 г. For_staff_use
Sprog:	russisk
Udgivet:	Томск, 2010
Fag:	Кремний > Производство поликристаллический кремний технология анализ водородное восстановление установки автоматизированное управление Siemens-реакторы кремниевые стержни резистивный нагрев математические модели АСУ автоматизированные системы управления диссертации
Format:	MixedMaterials Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=188890

Lignende værker

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (Томск, 2010)

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
af: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
Udgivet: (Томск, 2014)

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
af: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
Udgivet: (Томск, 2014)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Udgivet: ()

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
af: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
Udgivet: (Томск, 2014)

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Udgivet: (2009)

Реактор водородного восстановления кремния
Udgivet: ()

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Udgivet: (2009)

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
Udgivet: (2012)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (2011)

Установка для получения поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Udgivet: ()

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Udgivet: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (2009)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
af: Андреев А. А. Артем Андреевич
Udgivet: (2007)

Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.
Udgivet: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (2010)

Кремний и германий: [сборник]; Вып. 3
Udgivet: (Москва, Металлургия, 1974)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Udgivet: (2009)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
af: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Udgivet: (2013)

Кн. 1; Технология СБИС
Udgivet: (1986)

Способ получения поликристаллического кремния
Udgivet: ()

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Udgivet: (2014)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Udgivet: (2010)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Udgivet: (2020)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
af: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Udgivet: (2012)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
af: Лапатин Л. Г.
Udgivet: (2009)

Связь параметров и структурного совершенства кремниевых pin-фотоприемников; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 12
af: Кулинич О. А.
Udgivet: (2004)

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Udgivet: ()

Нелинейная оптика кремния и кремниевых наноструктур
af: Акципетров О. А.
Udgivet: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2012)

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
af: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Udgivet: (Минск, Наука и техника, 1992)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
af: Цивинская Ю. С.
Udgivet: (2012)

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Udgivet: ()

Взаимодействие молекул диоксида азота с поверхностью кремниевых нанокристаллов в слоях пористого кремния; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 4
Udgivet: (2004)

Разработка источника питания резистивного нагрева поликристаллических кремниевых стержней током высокой частоты; Современные техника и технологии; Т. 1
af: Лидовский Р. К.
Udgivet: (2011)