Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06

Bibliographic Details
Main Author:	Козин К. А. Кирилл Андреевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Ливенцов С. Н. Сергей Николаевич (научный руководитель)
Summary:	Защищена 22.12.2010 г. For_staff_use
Language:	Russian
Published:	Томск, 2010
Subjects:	Кремний > Производство поликристаллический кремний технология анализ водородное восстановление установки автоматизированное управление Siemens-реакторы кремниевые стержни резистивный нагрев математические модели АСУ автоматизированные системы управления диссертации
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=188890

Similar Items