Диэлектрики в наноэлектронике

Manylion Llyfryddiaeth
Awdur Corfforaethol: Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП)
Awduron Eraill: Гриценко В. А. Владимир Алексеевич (редактор), Тысченко И. Е. Ида Евгеньевна, Попов В. П. Владитмир Павлович, Перевалов Т. В. Тимофей Викторович, Асеев А. Л.
Crynodeb:Монография посвящена физике и применению диэлектрических пленок в кремниевых приборах наноэлектроники. Рассмотрены строение пленок оксида и нитрида кремния, полупроводниковые нанокристаллы в диэлектрических пленках, электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью, технология структур кремний-на-изоляторе, физика приборов флэш-памяти. Монография предназначена для научных сотрудников и инженеров, специализирующихся в области физики полупроводников и полупроводниковых приборов, бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по микроэлектронике и физике твердого тела.
Iaith:Rwseg
Cyhoeddwyd: Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2010
Pynciau:
Fformat: Llyfr
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=188764
Disgrifiad
Disgrifiad Corfforoll:258 с. ил.
Crynodeb:Монография посвящена физике и применению диэлектрических пленок в кремниевых приборах наноэлектроники. Рассмотрены строение пленок оксида и нитрида кремния, полупроводниковые нанокристаллы в диэлектрических пленках, электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью, технология структур кремний-на-изоляторе, физика приборов флэш-памяти. Монография предназначена для научных сотрудников и инженеров, специализирующихся в области физики полупроводников и полупроводниковых приборов, бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по микроэлектронике и физике твердого тела.
ISBN:9785769210815