| Summary: | Монография посвящена физике и применению диэлектрических пленок в кремниевых приборах наноэлектроники. Рассмотрены строение пленок оксида и нитрида кремния, полупроводниковые нанокристаллы в диэлектрических пленках, электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью, технология структур кремний-на-изоляторе, физика приборов флэш-памяти. Монография предназначена для научных сотрудников и инженеров, специализирующихся в области физики полупроводников и полупроводниковых приборов, бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по микроэлектронике и физике твердого тела. |
|---|
