Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Andre forfattere:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Sprog:	russisk
Udgivet:	Томск, 2010
Fag:	Магнетроны Плазменное напыление > Физико-химические процессы авторефераты диссертаций электронный ресурс магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования труды учёных ТПУ
Online adgang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/91.pdf
Format:	Electronisk Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=188274

Lignende værker

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
af: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Udgivet: (Томск, 2010)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
af: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Udgivet: (Томск, 2010)

Магнетроны: пер. с англ.
af: Фиск Д.
Udgivet: (Москва, Советское радио, 1948)

Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями
af: Максимович Г. Г. Георгий Григорьевич
Udgivet: (Киев, Наукова думка, 1983)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, 2017)

Релятивистские магнетроны
af: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Udgivet: (Москва, Физматлит, 2013)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, 2017)

Теоретические основы технологии плазменного напыления: учебное пособие для вузов
af: Пузряков А. Ф. Анатолий Филиппович
Udgivet: (Москва, Изд-во МГТУ, 2008)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2017)

Аморфные и нанокристаллические материалы плазменного напыления
af: Лепешев А. А. Анатолий Александрович
Udgivet: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
af: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Формирование и исследование тонкопленочной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
af: Чжан Ле
Udgivet: (Томск, 2020)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
af: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2010)

Клистроны, магнетроны, лампы бегущей волны: учебное пособие для вузов
af: Плонский А. Ф.
Udgivet: (Новосибирск, Изд-во НИСИ, 1978)

Формирование и исследование тонкоплёночной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
af: Чжан Ле
Udgivet: (Томск, 2020)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
af: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2009)

Плазменные покрытия с нанокристаллической и аморфной структурой
af: Калита В. И.
Udgivet: (Москва, Лидер М, 2008)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
af: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2014)

Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
af: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
af: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика
af: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Udgivet: (2010)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"; Современные техника и технологии; Т. 1.
af: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Udgivet: (2003)

Технология и оборудование вакуумного напыления
af: Никитин М. М. Михаил Михайлович
Udgivet: (Москва, Металлургия, 1992)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
af: Пархоменко Ю. Н.
Udgivet: (Москва, МИСИС, 2017)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец.01.04.20
af: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1988)

Исследование структурных свойств композитных материалов из сополимера ВДФ-ТеФЭ, модифицированных методом DC магнетронного напыления; Химия и химическая технология в XXI веке
af: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Udgivet: (2020)

Восстановление деталей машин напылением и наплавкой
af: Сидоров А. И. Алексей Иванович
Udgivet: (Москва, Машиностроение, 1987)

Газотермические покрытия: библиографический указатель отечественной и зарубежной литературы (1980-1984)
Udgivet: (Киев, Изд-во ИЭС, 1985)

Металлизационные покрытия
af: Шаров В. М.
Udgivet: (Киев, Будiвельник, 1981)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец. 01.04.20
af: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1988)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.09.04
af: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1979)

Радиопередающие устройства сверхвысоких частот: [учебное пособие]
af: Минаев М. И. Михаил Иванович
Udgivet: (Минск, Вышэйшая школа, 1978)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
af: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Udgivet: (Москва, МИСИС, 2015)

Обзор метода упрочнение деталей с помощью плазменного напыления; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
af: Сидоренко А. С.
Udgivet: (2019)

Вып. 62; Радиотехника
Udgivet: (1982)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
af: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Udgivet: (2008)