Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03

Bibliographic Details
Main Author:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Language:	Russian
Published:	Томск, 2010
Subjects:	Магнетроны Плазменное напыление > Физико-химические процессы авторефераты диссертаций электронный ресурс магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования труды учёных ТПУ
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/91.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=188274

Similar Items

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03
by: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Published: (Томск, 2010)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03
by: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Published: (Томск, 2010)

Магнетроны пер. с англ.
by: Фиск Д.
Published: (Москва, Советское радио, 1948)

Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями
by: Максимович Г. Г. Георгий Григорьевич
Published: (Киев, Наукова думка, 1983)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Релятивистские магнетроны
by: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Published: (Москва, Физматлит, 2013)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2010)

Теоретические основы технологии плазменного напыления: учебное пособие для вузов
by: Пузряков А. Ф. Анатолий Филиппович
Published: (Москва, Изд-во МГТУ, 2008)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Формирование и исследование тонкопленочной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Чжан Ле
Published: (Томск, 2020)

Плазменные покрытия (методы и оборудование) учебное пособие
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Формирование и исследование тонкоплёночной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Чжан Ле
Published: (Томск, 2020)

Аморфные и нанокристаллические материалы плазменного напыления
by: Лепешев А. А. Анатолий Александрович
Published: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Клистроны, магнетроны, лампы бегущей волны учебное пособие для вузов
by: Плонский А. Ф.
Published: (Новосибирск, Изд-во НИСИ, 1978)

Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2009)

Плазменные покрытия с нанокристаллической и аморфной структурой
by: Калита В. И.
Published: (Москва, Лидер М, 2008)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления
by: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Published: (2010)

Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"; Современные техника и технологии; Т. 1.
by: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Published: (2003)

Исследование структурных свойств композитных материалов из сополимера ВДФ-ТеФЭ, модифицированных методом DC магнетронного напыления
by: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Published: (2020)

Технология и оборудование вакуумного напыления
by: Никитин М. М. Михаил Михайлович
Published: (Москва, Металлургия, 1992)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
by: Пархоменко Ю. Н.
Published: (Москва, МИСИС, 2017)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук спец.01.04.20
by: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Published: (Томск, [Б. и.], 1988)

Обзор метода упрочнение деталей с помощью плазменного напыления
by: Сидоренко А. С.
Published: (2019)

Восстановление деталей машин напылением и наплавкой
by: Сидоров А. И. Алексей Иванович
Published: (Москва, Машиностроение, 1987)

Газотермические покрытия библиографический указатель отечественной и зарубежной литературы (1980-1984)
Published: (Киев, Изд-во ИЭС, 1985)

Металлизационные покрытия
by: Шаров В. М.
Published: (Киев, Будiвельник, 1981)

Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления
by: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Published: (2010)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук спец. 01.04.20
by: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Published: (Томск, [Б. и.], 1988)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
by: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Published: (Москва, МИСИС, 2015)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей
by: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Published: (2008)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Спец. 05.09.04
by: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Published: (Томск, [Б. и.], 1979)

Comparative study of Cu films prepared by DC, high power pulsed and burst magnetron sputtering
Published: (2016)