Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

書目詳細資料
主要作者:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
企業作者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
其他作者:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель)
總結:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
語言:	俄语
出版:	Томск, 2010
主題:	Магнетроны Плазменное напыление > Физико-химические процессы авторефераты диссертаций электронный ресурс магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования труды учёных ТПУ
在線閱讀:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/91.pdf
格式:	電子圖書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=188274

相似書籍

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
由: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
出版: (Томск, 2010)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
由: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
出版: (Томск, 2010)

Магнетроны: пер. с англ.
由: Фиск Д.
出版: (Москва, Советское радио, 1948)

Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями
由: Максимович Г. Г. Георгий Григорьевич
出版: (Киев, Наукова думка, 1983)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版: (Томск, 2017)

Релятивистские магнетроны
由: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
出版: (Москва, Физматлит, 2013)

Теоретические основы технологии плазменного напыления: учебное пособие для вузов
由: Пузряков А. Ф. Анатолий Филиппович
出版: (Москва, Изд-во МГТУ, 2008)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
由: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版: (Томск, [Б. и.], 2017)

Аморфные и нанокристаллические материалы плазменного напыления
由: Лепешев А. А. Анатолий Александрович
出版: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Формирование и исследование тонкопленочной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Чжан Ле
出版: (Томск, 2020)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
出版: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
由: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
出版: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
出版: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
出版: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
由: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
出版: (Москва, Техносфера, 2010)

Формирование и исследование тонкоплёночной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Чжан Ле
出版: (Томск, 2020)

Клистроны, магнетроны, лампы бегущей волны: учебное пособие для вузов
由: Плонский А. Ф.
出版: (Новосибирск, Изд-во НИСИ, 1978)

Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
由: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
出版: (Томск, Изд-во ТПУ, 2009)

Плазменные покрытия с нанокристаллической и аморфной структурой
由: Калита В. И.
出版: (Москва, Лидер М, 2008)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
由: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
出版: (Москва, Техносфера, 2014)

Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
由: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
出版: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
由: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
出版: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика
由: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
出版: (2010)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"; Современные техника и технологии; Т. 1.
由: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
出版: (2003)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
由: Пархоменко Ю. Н.
出版: (Москва, МИСИС, 2017)

Технология и оборудование вакуумного напыления
由: Никитин М. М. Михаил Михайлович
出版: (Москва, Металлургия, 1992)

Исследование структурных свойств композитных материалов из сополимера ВДФ-ТеФЭ, модифицированных методом DC магнетронного напыления; Химия и химическая технология в XXI веке
由: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
出版: (2020)

Обзор метода упрочнение деталей с помощью плазменного напыления; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
由: Сидоренко А. С.
出版: (2019)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец.01.04.20
由: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
出版: (Томск, [Б. и.], 1988)

Восстановление деталей машин напылением и наплавкой
由: Сидоров А. И. Алексей Иванович
出版: (Москва, Машиностроение, 1987)

Газотермические покрытия: библиографический указатель отечественной и зарубежной литературы (1980-1984)
出版: (Киев, Изд-во ИЭС, 1985)

Металлизационные покрытия
由: Шаров В. М.
出版: (Киев, Будiвельник, 1981)

Comparative study of Cu films prepared by DC, high power pulsed and burst magnetron sputtering; Journal of Electronic Materials; Vol. 45, iss. 8
出版: (2016)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
由: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
出版: (Москва, МИСИС, 2015)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
由: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
出版: (2008)

Особенности структуры покрытий системы Al-Ni, полученных воздушно-плазменным напылением; Современные технологии и материалы новых поколений
由: Рубцова О. А.
出版: (2017)

Модифицирование полимеров медицинского назначения методом ВЧ-магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
出版: (2013)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.04
由: Сулакшин А. С. Александр Степанович
出版: (Томск, [Б. и.], 1979)