Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Korporativní autor:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Další autoři:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель)
Shrnutí:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Томск, 2010
Témata:	Магнетроны Плазменное напыление > Физико-химические процессы авторефераты диссертаций электронный ресурс магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования труды учёных ТПУ
On-line přístup:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/91.pdf
Médium:	Elektronický zdroj Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=188274

Internet