Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03

Bibliographic Details
Main Author:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Language:	Russian
Published:	Томск, 2010
Subjects:	Магнетроны Плазменное напыление > Физико-химические процессы авторефераты диссертаций электронный ресурс магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования труды учёных ТПУ
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/91.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=188274

Internet