|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
188274 |
| 005 |
20231101224126.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\204509
|
| 090 |
|
|
|a 188274
|
| 100 |
|
|
|a 20101207d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 135 |
|
|
|a drbn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления
|b Электронный ресурс
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 05.09.03
|f М. А. Нечаев
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Р. Ф. Бекишев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2010
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (633 Кb)
|
| 230 |
|
|
|a Электронные текстовые данные (1 файл : 633 Кb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 451 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\206505
|t Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|o спец. 05.09.03
|f М. А. Нечаев
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Р. Ф. Бекишев ; науч. конс. Ю. Н. Дементьев
|c Томск
|d 2010
|p 20 с.
|a Нечаев, Михаил Анатольевич
|
| 606 |
1 |
|
|a Магнетроны
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\40720
|9 60557
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазменное напыление
|x Физико-химические процессы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48962
|9 67777
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные вакуумные установки
|
| 610 |
1 |
|
|a сканирование
|
| 610 |
1 |
|
|a электроприводы
|
| 610 |
1 |
|
|a системы управления
|
| 610 |
1 |
|
|a имитационное моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a разработка
|
| 610 |
1 |
|
|a экспериментальные исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.385.64(04)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.74(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 05.09.03
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Нечаев
|b М. А.
|g Михаил Анатольевич
|
| 702 |
|
1 |
|a Бекишев
|b Р. Ф.
|c российский ученый, электротехник
|c профессор кафедры электропривода и электрооборудования Томского политехнического университета
|f 1940-
|g Рудольф Фридрихович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19768
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130531
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/91.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
