Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Weitere Verfasser:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (727)
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Томск, 2010
Schlagworte:	Магнетроны Плазменное напыление > Физико-химические процессы авторефераты диссертаций электронный ресурс магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования труды учёных ТПУ
Online-Zugang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/91.pdf
Format:	Elektronisch Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=188274

Beschreibung
Beschreibung:	1 файл (633 Кb)
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации

Ähnliche Einträge