Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03

Opis bibliograficzny
1. autor:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Korporacja:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Kolejni autorzy:	Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович (научный руководитель)
Streszczenie:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Język:	rosyjski
Wydane:	Томск, 2010
Hasła przedmiotowe:	Магнетроны Плазменное напыление > Физико-химические процессы авторефераты диссертаций электронный ресурс магнетронные вакуумные установки сканирование электроприводы системы управления имитационное моделирование разработка экспериментальные исследования труды учёных ТПУ
Dostęp online:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/91.pdf
Format:	Elektroniczne Książka
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=188274

Opis
Opis fizyczny:	1 файл (633 Кb)
Streszczenie:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации

Podobne zapisy