Нечаев М. А. Михаил Анатольевич & Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович. (2010). Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03. Томск, 2010.
Chicago Style (17th ed.) CitationНечаев М. А. Михаил Анатольевич and Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03. Томск, 2010, 2010.
MLA (9th ed.) CitationНечаев М. А. Михаил Анатольевич and Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03. Томск, 2010, 2010.