Нечаев М. А. Михаил Анатольевич & Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович. (2010). Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03. Томск, 2010.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Нечаев М. А. Михаил Анатольевич und Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03. Томск, 2010, 2010.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Нечаев М. А. Михаил Анатольевич und Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03. Томск, 2010, 2010.