Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ.

Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ.

Dades bibliogràfiques
Altres autors: Айнспрук Н. (редактор), Браун Д.
Idioma:rus
Publicat: Москва, Мир, 1987
Matèries:
микроэлектронные схемы
интегральные микросхемы
сверхбольшие интегральные схемы
детали
плазменная обработка
СБИС
плазменная технология
производство
развитие
травление
применение
история
Format: MixedMaterials Llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=187445

Ítems similars