Плазменная технология в производстве СБИС пер. с англ.

Плазменная технология в производстве СБИС, пер. с англ.

Bibliographic Details
Other Authors: Айнспрук Н. (340), Браун Д.
Published: Москва, Мир, 1987
Subjects:
микроэлектронные схемы
интегральные микросхемы
сверхбольшие интегральные схемы
детали
плазменная обработка
СБИС
плазменная технология
производство
развитие
травление
применение
история
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=187445

Similar Items