|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
187445 |
| 005 |
20231031174010.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\203400
|
| 090 |
|
|
|a 187445
|
| 100 |
|
|
|a 20101116d1987 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Плазменная технология в производстве СБИС
|e пер. с англ.
|f под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Мир
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 469 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце гл.
|
| 320 |
|
|
|a Предметный указатель: с. 463-466.
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a сверхбольшие интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a детали
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a СБИС
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменная технология
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a развитие
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a история
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Айнспрук
|b Н.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Браун
|b Д.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101116
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160126
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
