Айнспрук Н & Браун Д. (1987). Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Москва, Мир, 1987.
Citace podle Chicago (17th ed.)Айнспрук Н a Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Москва, Мир, 1987, 1987.
Citace podle MLA (9th ed.)Айнспрук Н a Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Москва, Мир, 1987, 1987.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..