Айнспрук Н & Браун Д. (1987). Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Москва, Мир, 1987.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Айнспрук Н und Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Москва, Мир, 1987, 1987.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Айнспрук Н und Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Москва, Мир, 1987, 1987.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.