Айнспрук Н & Браун Д. (1987). Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Москва, Мир, 1987.
Chicago Style (17th ed.) CitationАйнспрук Н and Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Москва, Мир, 1987, 1987.
MLA (9th ed.) CitationАйнспрук Н and Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Москва, Мир, 1987, 1987.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.