Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Васин В. А. Владимир Анатольевич
Autor corporatiu: Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет) (МИЭМ)
Altres autors: Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, Степанчиков С. В. Сергей Валентинович
Sumari:Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов.
Idioma:rus
Publicat: Москва, Изд-во МИЭМ, 2009
Matèries:
Format: Llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=181818

Ítems similars