Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلف مشترك: | |
| مؤلفون آخرون: | , |
| الملخص: | Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов. |
| اللغة: | الروسية |
| منشور في: |
Москва, Изд-во МИЭМ, 2009
|
| الموضوعات: | |
| التنسيق: | كتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=181818 |