Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Васин В. А. Владимир Анатольевич
مؤلف مشترك: Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет) (МИЭМ)
مؤلفون آخرون: Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, Степанчиков С. В. Сергей Валентинович
الملخص:Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов.
اللغة:الروسية
منشور في: Москва, Изд-во МИЭМ, 2009
الموضوعات:
التنسيق: كتاب
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=181818

مواد مشابهة