Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники

Bibliographic Details
Main Author: Васин В. А. Владимир Анатольевич
Corporate Author: Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет) (МИЭМ)
Other Authors: Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, Степанчиков С. В. Сергей Валентинович
Summary:Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов.
Published: Москва, Изд-во МИЭМ, 2009
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=181818