Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов. |
| Published: |
Москва, Изд-во МИЭМ, 2009
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=181818 |