|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
181818 |
| 005 |
20231101223640.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785945062450
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\197089
|
| 090 |
|
|
|a 181818
|
| 100 |
|
|
|a 20100610d2009 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники
|f В. А. Васин, Е. Н. Ивашов, С. В. Степанчиков
|g Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет) (МИЭМ)
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИЭМ
|d 2009
|
| 215 |
|
|
|a 264 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав.
|
| 330 |
|
|
|a Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов.
|
| 606 |
1 |
|
|a Нанотехнология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\51510
|9 70088
|
| 606 |
1 |
|
|a Наноструктурные материалы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\44811
|9 64091
|
| 610 |
1 |
|
|a сканирующая зондовая микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a пьезосканеры
|
| 610 |
1 |
|
|a диагностика
|
| 610 |
1 |
|
|a магнитострикция
|
| 610 |
1 |
|
|a магнитострикционный эффект
|
| 610 |
1 |
|
|a информационное моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a перемещения
|
| 610 |
1 |
|
|a магнитострикционные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a постоянные магниты
|
| 610 |
1 |
|
|a магнитное поле
|
| 610 |
1 |
|
|a расчет
|
| 610 |
1 |
|
|a лазерно-зондовая микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a световое излучение
|
| 610 |
1 |
|
|a поглощение
|
| 610 |
1 |
|
|a туннельно-зондовые нанотехнологии
|
| 610 |
1 |
|
|a искусственные нейронные сети
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a системы кодирования
|
| 610 |
1 |
|
|a защищенные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a квантовые наноразмерные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a криптография
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотехнологические установки
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотехнологические устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a кластерные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a распознавание образов
|
| 610 |
1 |
|
|a качество
|
| 610 |
1 |
|
|a управление
|
| 610 |
1 |
|
|a нестабильные наноструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a выращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a молекулярно-лучевая эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 675 |
|
|
|a 620.3
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 620.18
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Васин
|b В. А.
|g Владимир Анатольевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Ивашов
|b Е. Н.
|g Евгений Николаевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Степанчиков
|b С. В.
|g Сергей Валентинович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет) (МИЭМ)
|c (1993- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\6461
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100610
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100621
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
