Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Васин В. А. Владимир Анатольевич
Tác giả của công ty: Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет) (МИЭМ)
Tác giả khác: Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич, Степанчиков С. В. Сергей Валентинович
Tóm tắt:Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов.
Ngôn ngữ:Tiếng Nga
Được phát hành: Москва, Изд-во МИЭМ, 2009
Những chủ đề:
Định dạng: Sách
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=181818
Miêu tả
Mô tả vật lý:264 с. ил.
Tóm tắt:Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов.
số ISBN:9785945062450