Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Tác giả của công ty: | |
| Tác giả khác: | , |
| Tóm tắt: | Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов. |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Nga |
| Được phát hành: |
Москва, Изд-во МИЭМ, 2009
|
| Những chủ đề: | |
| Định dạng: | Sách |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=181818 |
| Mô tả vật lý: | 264 с. ил. |
|---|---|
| Tóm tắt: | Рассмотрены общие и специальные вопросы, связанные с описанием, анализом и перспективами применения методов и технологий получения различных наноразмериых структур. Представлены функциональные устройства и системы, а также оборудование для реализации нанотехнологических процессов. |
| số ISBN: | 9785945062450 |