Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Autor corporatiu: Томский политехнический университет (ТПУ)
Altres autors: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Sumari:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Idioma:rus
Publicat: Томск, 2010
Matèries:
Accés en línia:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/10.pdf
Format: Electrònic Llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=180520

Ítems similars