Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Korporativní autor:	Томский политехнический университет (ТПУ)
Další autoři:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (727)
Shrnutí:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Томск, 2010
Témata:	тонкие пленки осаждение ионное распыление сильноточные импульсные ускорители ионные диоды мишень воздействие поверхностный слой химический состав изменение свойства структура авторефераты диссертаций электронный ресурс труды учёных ТПУ
On-line přístup:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/10.pdf
Médium:	Elektronický zdroj Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=180520

Internet