Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Autor Corporativo:	Томский политехнический университет (ТПУ)
Outros autores:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Idioma:	ruso
Publicado:	Томск, 2010
Subjects:	Полупроводниковые пленки > Физико-химические свойства тонкие пленки осаждение ионное распыление сильноточные импульсные ускорители ионные диоды мишень воздействие поверхностный слой химический состав изменение свойства структура авторефераты диссертаций электронный ресурс труды учёных ТПУ
Acceso en liña:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/10.pdf
Formato:	Electrónico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=180520

Internet