Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Institutionell upphovsman:	Томский политехнический университет (ТПУ)
Övriga upphovsmän:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Sammanfattning:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Språk:	ryska
Publicerad:	Томск, 2010
Ämnen:	Полупроводниковые пленки > Физико-химические свойства тонкие пленки осаждение ионное распыление сильноточные импульсные ускорители ионные диоды мишень воздействие поверхностный слой химический состав изменение свойства структура авторефераты диссертаций электронный ресурс труды учёных ТПУ
Länkar:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/10.pdf
Materialtyp:	Elektronisk Bok
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=180520

Beskrivning
Fysisk beskrivning:	1 файл (911 Kb)
Sammanfattning:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации

Liknande verk