Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Korporativna značnica:	Томский политехнический университет (ТПУ)
Drugi avtorji:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Izvleček:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Jezik:	ruščina
Izdano:	Томск, 2010
Teme:	Полупроводниковые пленки > Физико-химические свойства тонкие пленки осаждение ионное распыление сильноточные импульсные ускорители ионные диоды мишень воздействие поверхностный слой химический состав изменение свойства структура авторефераты диссертаций электронный ресурс труды учёных ТПУ
Online dostop:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/10.pdf
Format:	Elektronski Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=180520

Opis
Fizični opis:	1 файл (911 Kb)
Izvleček:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации

Podobne knjige/članki