Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή:	Томский политехнический университет (ТПУ)
Άλλοι συγγραφείς:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (727)
Περίληψη:	Защищена 24.03.2010 г.
Έκδοση:	Томск, 2010
Θέματα:	тонкие пленки осаждение ионное распыление сильноточные импульсные ускорители ионные диоды мишень воздействие поверхностный слой химический состав изменение свойства структура диссертации
Μορφή:	Βιβλίο
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=179100

Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:	102 л. ил.
Περίληψη:	Защищена 24.03.2010 г.

Παρόμοια τεκμήρια