Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Corporate Author:	Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (727)
Summary:	Защищена 24.03.2010 г.
Published:	Томск, 2010
Subjects:	тонкие пленки осаждение ионное распыление сильноточные импульсные ускорители ионные диоды мишень воздействие поверхностный слой химический состав изменение свойства структура диссертации
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=179100

Similar Items