Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Бібліографічні деталі
Автор:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Інші автори:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (727)
Резюме:	Защита сост. 24.03.2010 г.
Мова:	Російська
Опубліковано:	Томск, 2010
Предмети:	тонкие пленки осаждение ионное распыление сильноточные импульсные ускорители ионные диоды мишень воздействие поверхностный слой химический состав изменение свойства структура авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=179099

Схожі ресурси