Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Korporativní autor:	Томский политехнический университет (ТПУ)
Další autoři:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Shrnutí:	Защита сост. 24.03.2010 г.
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Томск, 2010
Témata:	Полупроводниковые пленки > Физико-химические свойства тонкие пленки осаждение ионное распыление сильноточные импульсные ускорители ионные диоды мишень воздействие поверхностный слой химический состав изменение свойства структура авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Médium:	MixedMaterials Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=179099

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	179099
005	20231101223443.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\194158
090			\|a 179099
100			\|a 20100415d2010 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a dm 001zy
200	1		\|a Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком \|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук \|e спец. 01.04.07 \|f М. С. Салтымаков \|g Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Г. Е. Ремнев
210			\|a Томск \|d 2010
215			\|a 18 с. \|c ил.
300			\|a Защита сост. 24.03.2010 г.
320			\|a Библиогр.: с. 17-18 (14 назв.).
452		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\book\195692 \|t Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком \|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук \|o спец. 01.04.07 \|f М. С. Салтымаков \|g Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Г. Е. Ремнев \|c Томск \|d 2010 \|a Салтымаков, Максим Сергеевич
606	1		\|a Полупроводниковые пленки \|x Физико-химические свойства \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50667 \|9 69318
610	1		\|a тонкие пленки
610	1		\|a осаждение
610	1		\|a ионное распыление
610	1		\|a сильноточные импульсные ускорители
610	1		\|a ионные диоды
610	1		\|a мишень
610	1		\|a воздействие
610	1		\|a поверхностный слой
610	1		\|a химический состав
610	1		\|a изменение
610	1		\|a свойства
610	1		\|a структура
610	1		\|a авторефераты диссертаций
610	1		\|a труды учёных ТПУ
675			\|a 539.216.2(04) \|v 3
686			\|a 01.04.07 \|2 oksvnk
700		1	\|a Салтымаков \|b М. С. \|c физик \|c младший научный сотрудник Томского политехнического университета \|f 1982- \|g Максим Сергеевич \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30452
702		1	\|a Ремнев \|b Г. Е. \|c физик \|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук \|f 1948- \|g Геннадий Ефимович \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004 \|4 727
712	0	2	\|a Томский политехнический университет (ТПУ) \|c (1991- ) \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\col\376
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20100415
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150609 \|g RCR
942			\|c BK

MARC

Podobné jednotky