|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
179099 |
| 005 |
20231101223443.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\194158
|
| 090 |
|
|
|a 179099
|
| 100 |
|
|
|a 20100415d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.07
|f М. С. Салтымаков
|g Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Г. Е. Ремнев
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2010
|
| 215 |
|
|
|a 18 с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защита сост. 24.03.2010 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 17-18 (14 назв.).
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\195692
|t Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|o спец. 01.04.07
|f М. С. Салтымаков
|g Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Г. Е. Ремнев
|c Томск
|d 2010
|a Салтымаков, Максим Сергеевич
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые пленки
|x Физико-химические свойства
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50667
|9 69318
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a сильноточные импульсные ускорители
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные диоды
|
| 610 |
1 |
|
|a мишень
|
| 610 |
1 |
|
|a воздействие
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностный слой
|
| 610 |
1 |
|
|a химический состав
|
| 610 |
1 |
|
|a изменение
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 539.216.2(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Салтымаков
|b М. С.
|c физик
|c младший научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1982-
|g Максим Сергеевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30452
|
| 702 |
|
1 |
|a Ремнев
|b Г. Е.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1948-
|g Геннадий Ефимович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (1991- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\376
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100415
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150609
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|