Элионная технология в микро- и наноиндустрии: курс лекций

Элионная технология в микро- и наноиндустрии: курс лекций

Библиографические подробности
Главный автор:	Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Автор-организация:	Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС)
Другие авторы:	Кушхов А. Р. Аскер Русланович, Билалов Б. А. Билал Аругович
Примечания:	В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия - формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии. Учитывая, что в рассматриваемых процессах основную роль играют электроны и ионы, принято для краткости называть технологию элионной. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для подготовки специалистов по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».
Язык:	русский
Опубликовано:	Москва, Изд-во МИСиС, 2008
Предметы:	Наноэлектроника тонкопленочные гетерокомпозиции слои ионно-плазменное осаждение ионная имплантация электроника электронные процессы микроэлектроника литографические методы лекции учебные пособия
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177797

Схожие документы

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Опубликовано: (Москва, Учеба, 2007)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Элионная технология в микро- и наноиндустрии Учебное пособие
по: Кузнецов Г.Д. Геннадий Дмитриевич
Опубликовано: (Москва, Издательский Дом Национального исследовательского технологического университета «МИСиС», 2008)

Наноэлектроника: учебник для бакалавриата и магистратуры
по: Щука А. А. Александр Александрович
Опубликовано: (Москва, Юрайт, 2019)

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы
по: Кузнецов Г. Д.
Опубликовано: (Москва, МИСИС, 2012)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
по: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Зондовые нанотехнологии в электронике
по: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2005)

Microelectronics to Nanoelectronics: Materials, Devices & Manufacturability
Опубликовано: (New York, Taylor & Francis Group, 2013)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Опубликовано: (2011)

Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
Опубликовано: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)

Кремний - материал наноэлектроники: учебное пособие
по: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2007)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
по: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Опубликовано: (Москва, Высшая школа, 1987)

Физические основы микро- и наноэлектроники: учебное пособие для вузов
по: Парфенова Е. Л. Елена Леонидовна
Опубликовано: (Ростов-на-Дону, Феникс, 2012)

Зондовые нанотехнологии в электронике: учебное пособие для вузов
по: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2006)

Наноэлектроника: учебное пособие
по: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Опубликовано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009)

Наноэлектроника: теория и практика: учебник для вузов
Опубликовано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Диэлектрики в наноэлектронике
Опубликовано: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2010)

Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам: сборник статей
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2005)

Исследование барьерного слоя в металлах и его влияние на кинетику и фазообразование в слоистой системе Fе-Bе: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Нуркенов С. А. Серик Амангельдинович
Опубликовано: (Томск, 2017)

Исследование барьерного слоя в металлах и его влияние на кинетику и фазообразование в слоистой системе Fе-Bе: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Нуркенов С. А. Серик Амангельдинович
Опубликовано: (Астана, 2017)

Nanoelectronics and Information Technology. Advanced Electronic Materials and Novel Devices
Опубликовано: (Weinheim, Wiley-VCH Verlag GmbH &Co. KGaA, 2012)

Ионная имплантация: пер. с нем.
по: Риссел Х.
Опубликовано: (Москва, Наука, 1983)

Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие
по: Зебрев Г. И. Геннадий Иванович
Опубликовано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Ч. 2; Наноэлектроника
Опубликовано: (2019)

Основы нано- и функциональной электроники: учебное пособие
по: Смирнов Ю. А. Юрий Александрович
Опубликовано: (Санкт-Петербург, Лань, 2013)

Ч. 1; Наноэлектроника и схемотехника
Опубликовано: (2016)

Практикум по курсу «Проектирование и технология электронной компонентной базы» учебно-методическое пособие для вузов
по: Быкадорова Г. В.
Опубликовано: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Temperature gradients in targets with high-intensity implantation and their influence on the characteristics of ion-modified layers; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1393 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Опубликовано: (2019)

Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники: электронный курс
по: Бориков В. Н. Валерий Николаевич
Опубликовано: (Томск, TPU Moodle, 2017)

Современные средства информационных технологий: учебное пособие
по: Карпенков С. Х. Степан Харланович
Опубликовано: (Москва, КноРус, 2015)

Высокоинтенсивная имплантация ионов алюминия в никель и титан; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 3
Опубликовано: (2004)

Основы наноэлектроники: учебное пособие
по: Драгунов В. П. Валерий Павлович
Опубликовано: (Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2004)

Основы технологии электронной компонентной базы : практикум
по: Астахов В. П.
Опубликовано: (Москва, МИСИС, 2016)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
по: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1983)

Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники: учебное пособие для вузов
по: Барыбин А. А. Анатолий Андреевич
Опубликовано: (Москва, Физматлит, 2011)

Основы наноэлектроники: учебное пособие для вузов
по: Драгунов В. П. Валерий Павлович
Опубликовано: (Москва, Логос, 2006)

Ч. 1; Наноэлектроника
Опубликовано: (2019)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Опубликовано: (2007)

Высокоинтенсивная ионная имплантация - метод формирования мелкодисперсных интерметаллидов в поверхностных слоях металлов; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 9
Опубликовано: (2004)

Антифрикционные тонкоплёночные покрытия на основе дисульфида молибдена; Справочник. Инженерный журнал; № 3
по: Панфилов Ю. В.
Опубликовано: (2003)