|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
177797 |
| 005 |
20231101223348.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\192771
|
| 090 |
|
|
|a 177797
|
| 100 |
|
|
|a 20100325d2008 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Элионная технология в микро- и наноиндустрии
|e курс лекций
|f Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, Б. А. Билалов
|g Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС)
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИСиС
|d 2008
|
| 215 |
|
|
|a 156 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 155.
|
| 330 |
|
|
|a В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия - формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии. Учитывая, что в рассматриваемых процессах основную роль играют электроны и ионы, принято для краткости называть технологию элионной. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для подготовки специалистов по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».
|
| 606 |
1 |
|
|a Наноэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58929
|9 76611
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные гетерокомпозиции
|
| 610 |
1 |
|
|a слои
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a литографические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a лекции
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382:53(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Кузнецов
|b Г. Д.
|g Геннадий Дмитриевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Кушхов
|b А. Р.
|g Аскер Русланович
|
| 701 |
|
1 |
|a Билалов
|b Б. А.
|g Билал Аругович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\180
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100325
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140224
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Отрасли наноиндустрии. Области применения наноматериалов
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 22/20100324
|d 1
|e 374,00
|f ЧЗТЛ:1
|
