|
|
|
|
| LEADER |
00000n m0a2200000 4500 |
| 001 |
177787 |
| 005 |
20231101223347.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785788205533
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\192761
|
| 090 |
|
|
|a 177787
|
| 100 |
|
|
|a 20100325d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления
|e монография
|f И. Ш. Абдуллин [и др.]
|g Казанский государственный технологический университет (КГТУ)
|
| 210 |
|
|
|a Казань
|c Изд-во Казанского ГТУ
|d 2007
|
| 215 |
|
|
|a 356 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце гл.
|
| 330 |
|
|
|a Работа посвящена модификации поверхностного нанослоя металлов, их сплавов, полупроводников, диэлектриков, тонкопленочных покрытий с помощью высокочастотных разрядов индукционного и емкостного типов при пониженном давлении. Описываются физическая и математическая модели модификации поверхности материалов в высокочастотной плазме пониженного давления, а также результаты теоретического исследования закономерностей формирования основных параметров процесса модификации. Предназначена для широкого круга специалистов и научных работников, занимающихся вопросами физики низкотемпературной плазмы, а также преподавателей, аспирантов и студентов технических вузов.
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазменная обработка металлов
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48951
|9 67766
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазменная маталлизация
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48948
|
| 610 |
1 |
|
|a низкотемпературная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a наноматериалы
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные нанослои
|
| 610 |
1 |
|
|a модификация
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочастотные разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a характеристика
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочастотная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочастотная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные микрослои
|
| 610 |
1 |
|
|a теоретические исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a монографии
|
| 675 |
|
|
|a 621.7.048.7
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.74
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Абдуллин
|b И. Ш.
|
| 701 |
|
1 |
|a Желтухин
|b В. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Сагбиев
|b И. Р.
|
| 701 |
|
1 |
|a Шаехов
|b М.Ф.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Казанский государственный технологический университет (КГТУ)
|c (1992- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\224
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100325
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150623
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
