| Summary: | Работа посвящена модификации поверхностного нанослоя металлов, их сплавов, полупроводников, диэлектриков, тонкопленочных покрытий с помощью высокочастотных разрядов индукционного и емкостного типов при пониженном давлении. Описываются физическая и математическая модели модификации поверхности материалов в высокочастотной плазме пониженного давления, а также результаты теоретического исследования закономерностей формирования основных параметров процесса модификации. Предназначена для широкого круга специалистов и научных работников, занимающихся вопросами физики низкотемпературной плазмы, а также преподавателей, аспирантов и студентов технических вузов. |
|---|
