Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления, монография
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Summary: | Работа посвящена модификации поверхностного нанослоя металлов, их сплавов, полупроводников, диэлектриков, тонкопленочных покрытий с помощью высокочастотных разрядов индукционного и емкостного типов при пониженном давлении. Описываются физическая и математическая модели модификации поверхности материалов в высокочастотной плазме пониженного давления, а также результаты теоретического исследования закономерностей формирования основных параметров процесса модификации. Предназначена для широкого круга специалистов и научных работников, занимающихся вопросами физики низкотемпературной плазмы, а также преподавателей, аспирантов и студентов технических вузов. |
| Published: |
Казань, Изд-во Казанского ГТУ, 2007
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177787 |
| Physical Description: | 356 с. ил. |
|---|---|
| Summary: | Работа посвящена модификации поверхностного нанослоя металлов, их сплавов, полупроводников, диэлектриков, тонкопленочных покрытий с помощью высокочастотных разрядов индукционного и емкостного типов при пониженном давлении. Описываются физическая и математическая модели модификации поверхности материалов в высокочастотной плазме пониженного давления, а также результаты теоретического исследования закономерностей формирования основных параметров процесса модификации. Предназначена для широкого круга специалистов и научных работников, занимающихся вопросами физики низкотемпературной плазмы, а также преподавателей, аспирантов и студентов технических вузов. |
| ISBN: | 9785788205533 |