Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика.— 2009.— [С. 70-74]
Altri autori:	Козин К. А. Кирилл Андреевич, Горюнов А. Г. Алексей Германович, Ливенцов С. Н. Сергей Николаевич, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А.
Riassunto:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2009
Serie:	Управление, вычислительная техника и информатика
Soggetti:	поликристаллический кремний Siemens-реактор CVD-метод алгоритмы управления системы автоматизированного управления труды учёных ТПУ электронный ресурс
Accesso online:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2009/v315/i5/14.pdf
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177415

Documenti analoghi

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2011)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2010)

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
Pubblicazione: (2012)

Способ получения поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()

Математическая модель Siemens-реактора как объекта управления; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Горюнов А. Г. Алексей Германович
Pubblicazione: (2009)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2009)

Установка для получения поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
di: Андреев А. А. Артем Андреевич
Pubblicazione: (2007)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
di: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Pubblicazione: (2013)

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (Томск, 2010)

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (Томск, 2010)

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Pubblicazione: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()

Разработка системы автоматизированного контроля и управления реактором по осаждению нерастворимых аэрозолей на базе программируемого логического контроллера Siemens S7-1500; Интеллектуальные энергосистемы; Т. 1
di: Нигай А. Г. Александр Герасимович
Pubblicazione: (2017)

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Pubblicazione: ()

Модифицированная компьютерная модель и система управления Siemens-реактором; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Сачков С. А.
Pubblicazione: (2011)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Pubblicazione: (2009)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
di: Цивинская Ю. С.
Pubblicazione: (2012)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Pubblicazione: (2010)

Siemens S7-200
di: Рыбалев А. Н.
Pubblicazione: (Благовещенск, АмГУ, 2010)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
di: Лапатин Л. Г.
Pubblicazione: (2009)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
di: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Pubblicazione: (2012)

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Pubblicazione: (2014)

Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
di: Карелин В. А. Владимир Александрович
Pubblicazione: (2005)

Светодиод с CVD-алмазным теплоотводом; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 8, ч. 3
Pubblicazione: (2013)

Программная реализация системы управления уровнем воды на контроллере Siemens Logo!; Молодежь и современные информационные технологии; Т. 1
di: Синьсинь Пэй
Pubblicazione: (2016)

Development of an algorithm for controlling antenna drive gears of spacecraft using programmable logic controller Siemens S7-1200; Молодежь и современные информационные технологии; Т. 1
di: Maslov V. E.
Pubblicazione: (2014)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы : химическое газофазное осаждение защитных покрытий курс лекций
di: Душик В. В.
Pubblicazione: (Москва, МИСИС, 2013)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Pubblicazione: ()

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Pubblicazione: (2020)

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Pubblicazione: (2009)

SIEMENS. Система менеджмента лабораторной информацией с расширенных функций; Промышленные АСУ и контроллеры; № 10
Pubblicazione: (2003)

Радиационно-технологический комплекс реактора ИРТ-Т для модификации свойств монокристаллического кремния и полудрагоценных кристаллов; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 2-2
Pubblicazione: (2015)

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Pubblicazione: ()

Расчет энерговыделения в слитках кремния на реакторе ИРТ-Т; Актуальные проблемы инновационного развития ядерных технологий
di: Смольников Н. В. Никита Викторович
Pubblicazione: (2018)

CVD Diamond Interaction with Fe at Elevated Temperatures; Materials; Vol. 11, iss. 12
Pubblicazione: (2018)

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
di: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Pubblicazione: (Минск, Наука и техника, 1992)