Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния

التفاصيل البيبلوغرافية
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика.— 2009.— [С. 70-74]
مؤلفون آخرون:	Козин К. А. Кирилл Андреевич, Горюнов А. Г. Алексей Германович, Ливенцов С. Н. Сергей Николаевич, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А.
الملخص:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор.
اللغة:	الروسية
منشور في:	2009
سلاسل:	Управление, вычислительная техника и информатика
الموضوعات:	поликристаллический кремний Siemens-реактор CVD-метод алгоритмы управления системы автоматизированного управления труды учёных ТПУ электронный ресурс
الوصول للمادة أونلاين:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2009/v315/i5/14.pdf
التنسيق:	الكتروني فصل الكتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177415

مواد مشابهة

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2010)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2011)

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током
منشور في: (2012)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2009)

Математическая модель Siemens-реактора как объекта управления
حسب: Горюнов А. Г. Алексей Германович
منشور في: (2009)

Модифицированная компьютерная модель и система управления Siemens-реактором
حسب: Сачков С. А.
منشور في: (2011)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: (2007)

Способ получения поликристаллического кремния
منشور في: ()

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК" диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.13.06
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (Томск, 2010)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК" автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.13.06
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (Томск, 2010)

Разработка системы автоматизированного контроля и управления реактором по осаждению нерастворимых аэрозолей на базе программируемого логического контроллера Siemens S7-1500
حسب: Нигай А. Г. Александр Герасимович
منشور في: (2017)

Установка для получения поликристаллического кремния
منشور في: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
حسب: Кабышев А. В. Александр Васильевич
منشور في: (2013)

Способ получения поликристаллического кремния
منشور في: ()

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена
حسب: Цивинская Ю. С.
منشور في: (2012)

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния
منشور في: (2009)

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния
حسب: Козин К. А. Кирилл Андреевич
منشور في: (2010)

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
منشور في: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
منشور في: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
منشور في: ()

Siemens S7-200
حسب: Рыбалев А. Н.
منشور في: (Благовещенск, АмГУ, 2010)

Development of an algorithm for controlling antenna drive gears of spacecraft using programmable logic controller Siemens S7-1200
حسب: Maslov V. E.
منشور في: (2014)

Программная реализация системы управления уровнем воды на контроллере Siemens Logo!
حسب: Синьсинь Пэй
منشور في: (2016)

Алгоритм управления аппаратом комбинированного типа производства гексафторида урана
حسب: Байдали С. А. Сергей Анатольевич
منشور في: (2009)

SIEMENS. Система менеджмента лабораторной информацией с расширенных функций
منشور في: (2003)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей
حسب: Лапатин Л. Г.
منشور في: (2009)

CVD Diamond Interaction with Fe at Elevated Temperatures
منشور في: (2018)

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления
منشور في: (2009)

Системы управления лифтом
حسب: Рыбалев А. Н.
منشور في: (Благовещенск, АмГУ, 2015)

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation
منشور في: (2014)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы : химическое газофазное осаждение защитных покрытий курс лекций
حسب: Душик В. В.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2013)

Расчет энерговыделения в слитках кремния на реакторе ИРТ-Т
حسب: Смольников Н. В. Никита Викторович
منشور في: (2018)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams
منشور في: (2020)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
منشور في: ()

Управление светофорами с помощью контроллера Siemens S7-300
حسب: Лай Чунг Тиен
منشور في: (2014)

Светодиод с CVD-алмазным теплоотводом
منشور في: (2013)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
حسب: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
منشور في: (2012)

Определение термических режимов радиационного облучения слитков кремния в горизонтальном канале реактора ИРТ-Т
حسب: Смольников Н. В. Никита Викторович
منشور في: (2018)