Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика.— 2009.— [С. 70-74] |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Summary: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор. |
| Published: |
2009
|
| Series: | Управление, вычислительная техника и информатика |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2009/v315/i5/14.pdf |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177415 |