Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика.— 2009.— [С. 70-74] |
|---|---|
| Rannpháirtithe: | , , , , |
| Achoimre: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор. |
| Teanga: | Rúisis |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
2009
|
| Sraith: | Управление, вычислительная техника и информатика |
| Ábhair: | |
| Rochtain ar líne: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2009/v315/i5/14.pdf |
| Formáid: | MixedMaterials Leictreonach Caibidil leabhair |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177415 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 177415 | ||
| 005 | 20240222100200.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\192329 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\192276 | ||
| 090 | |a 177415 | ||
| 100 | |a 20100317d2009 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния |f К. А. Козин [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (779 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Управление, вычислительная техника и информатика | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 74 (10 назв.)] | ||
| 330 | |a Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\176237 |t Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2000- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\192268 |x 1684-8519 |t Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика |v [С. 70-74] |d 2009 |p 212 с. | |
| 610 | 1 | |a поликристаллический кремний | |
| 610 | 1 | |a Siemens-реактор | |
| 610 | 1 | |a CVD-метод | |
| 610 | 1 | |a алгоритмы управления | |
| 610 | 1 | |a системы автоматизированного управления | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 701 | 1 | |a Козин |b К. А. |c специалист в области автоматики и электроники |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1980- |g Кирилл Андреевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25934 |9 11784 | |
| 701 | 1 | |a Горюнов |b А. Г. |c специалист в области автоматического управления |c заведующий кафедрой Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1979- |g Алексей Германович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25726 |9 11628 | |
| 701 | 1 | |a Ливенцов |b С. Н. |c специалист в области автоматического управления |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1955- |g Сергей Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25467 |9 11406 | |
| 701 | 1 | |a Гаврилов |b П. М. |c специалист в области атомной энергетики |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1960- |g Петр Михайлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27697 |9 12771 | |
| 701 | 1 | |a Ревенко |b Ю. А. | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20211216 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2009/v315/i5/14.pdf | |
| 942 | |c CF | ||