|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
176743 |
| 005 |
20231031165357.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\191635
|
| 090 |
|
|
|a 176743
|
| 100 |
|
|
|a 20100304d1976 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Контроль параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев
|f В. В. Батавин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Советское радио
|d 1976
|
| 215 |
|
|
|a 104 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Массовая библиотека инженера "Электроника"
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 95-101.
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a измерение
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.59
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Батавин
|b В. В.
|g Виталий Васильевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100304
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150506
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
