Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов

Dettagli Bibliografici
Parent link:Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000-
Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика.— 2009.— [С. 147-150]
Altri autori: Воронов А. В., Сергеев В. П. Виктор Петрович, Сергеев О. В., Нейфельд В. В., Параев Ю. Н.
Riassunto:Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
Путём вакуумного магнетронного осаждения при одновременной работе двух магнетронов получены нанокомпозитные покрытия на основе системы Ti-Al-Si-N. Исследовано влияние параметров магнетронного распыления разных мишеней на химический состав и микротвердость покрытия. С помощью рентгеноструктурного анализа определен фазовый состав и средний размер субзёрен основной фазы в полученных покрытиях Ti-Al-Si-N.
Lingua:russo
Pubblicazione: 2009
Serie:Математика и механика. Физика
Soggetti:
Accesso online:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2009/v315/i2/33.pdf
Natura: Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=176684

Documenti analoghi