Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика.— 2009.— [С. 147-150] |
|---|---|
| Altri autori: | Воронов А. В., Сергеев В. П. Виктор Петрович, Сергеев О. В., Нейфельд В. В., Параев Ю. Н. |
| Riassunto: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Путём вакуумного магнетронного осаждения при одновременной работе двух магнетронов получены нанокомпозитные покрытия на основе системы Ti-Al-Si-N. Исследовано влияние параметров магнетронного распыления разных мишеней на химический состав и микротвердость покрытия. С помощью рентгеноструктурного анализа определен фазовый состав и средний размер субзёрен основной фазы в полученных покрытиях Ti-Al-Si-N. |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2009
|
| Serie: | Математика и механика. Физика |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2009/v315/i2/33.pdf |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=176684 |
Documenti analoghi
Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N
di: Пузанова К. С.
Pubblicazione: (2014)
di: Пузанова К. С.
Pubblicazione: (2014)
Получение керамики на основе Si3N4 И TiN методом искрового плазменного спекания
di: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Pubblicazione: (2015)
di: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Pubblicazione: (2015)
Влияние добавки [alpha]-Si[3]N[4] на свойства композиционного материала, получаемого в системе AlN - [beta]-Si[3]N[4]
di: Орехов А. С.
Pubblicazione: (2020)
di: Орехов А. С.
Pubblicazione: (2020)
Свойства покрытий TiAlN, полученных методом вакуумно-дугового испарения
di: Гусс Л. Е.
Pubblicazione: (2019)
di: Гусс Л. Е.
Pubblicazione: (2019)
Влияние температуры осаждения нанокомпозитных покрытий Al-Si-N на микротвердость и светопропускание кварцевого стекла
di: Рыбалко Е. В.
Pubblicazione: (2015)
di: Рыбалко Е. В.
Pubblicazione: (2015)
Формирование износостойких многослойных нанокомпозитных покрытий на основе систем ZR-Y-O И SI-AL-N методом магнетронного распыления композиционных мишеней
Pubblicazione: (2012)
Pubblicazione: (2012)
Локальная структура покрытий на основе нитрида титана
Pubblicazione: (2015)
Pubblicazione: (2015)
Нанесение плазменных TI-C-N покрытий на воздухе
di: Сивков А. А. Александр Анатольевич
Pubblicazione: (2017)
di: Сивков А. А. Александр Анатольевич
Pubblicazione: (2017)
Сравнительное изучение стойкости защитных нанокомпозитных покрытий Al-Si-N и In-Sn-O к ударным воздействиям твердых микрочастиц
di: Калиева Р. А.
Pubblicazione: (2018)
di: Калиева Р. А.
Pubblicazione: (2018)
Исследование структурно-фазового состояния и механических свойств керамических покрытий на основе Si-Al-N
di: Пузанова К. С.
Pubblicazione: (2014)
di: Пузанова К. С.
Pubblicazione: (2014)
Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions
Pubblicazione: (2018)
Pubblicazione: (2018)
Получение керамических порошков при СВС-горении композиционных смесей состава Ti-AL2O3 и Ti-Al
di: Пономарёва М. Ю.
Pubblicazione: (2008)
di: Пономарёва М. Ю.
Pubblicazione: (2008)
Structural Phase State and Mechanical Properties of the Si-Al-N Coatings with Different Concentration Ratio of Al and Si
Pubblicazione: (2015)
Pubblicazione: (2015)
Исследование водородостойкости, механических и трибологических свойств циркониевого сплава Э110 с покрытием нитрида титана, осажденного методом магнетронного распыления
di: Керимкулов Э. М.
Pubblicazione: (2018)
di: Керимкулов Э. М.
Pubblicazione: (2018)
СВС порошков "TiN-AI2O3" в воздухе и получение из них керамики
di: Строкова Ю. И. Юлия Игоревна
Pubblicazione: (2008)
di: Строкова Ю. И. Юлия Игоревна
Pubblicazione: (2008)
Ceramics based on titanium nitride and silicon nitride sintered by SPS-method
di: Sivkov A. A. Aleksandr Anatolyevich
Pubblicazione: (2015)
di: Sivkov A. A. Aleksandr Anatolyevich
Pubblicazione: (2015)
Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения
di: Овечкин В. И.
Pubblicazione: (2009)
di: Овечкин В. И.
Pubblicazione: (2009)
Состав и характеристики спеченной керамики, содержащей нитриды титана и циркония
di: Чудинова А. О. Александра Олеговна
Pubblicazione: (2019)
di: Чудинова А. О. Александра Олеговна
Pubblicazione: (2019)
Влияние температурного режима спекания на структуру керамики на основе нитрида кремния и нитрида алюминия
di: Орехов А. С.
Pubblicazione: (2019)
di: Орехов А. С.
Pubblicazione: (2019)
Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si
Pubblicazione: (2013)
Pubblicazione: (2013)
Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
di: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Pubblicazione: (2021)
di: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Pubblicazione: (2021)
Нанесение сверхтвердых плазменных покрытий на основе Ti-С-N в азотной атмосфере
di: Герасимов Д. Ю. Дмитрий Юрьевич
Pubblicazione: (2020)
di: Герасимов Д. Ю. Дмитрий Юрьевич
Pubblicazione: (2020)
Plasma Deposition of Ti-C-N Coatings in Air
di: Sivkov A. A. Aleksandr Anatolyevich
Pubblicazione: (2018)
di: Sivkov A. A. Aleksandr Anatolyevich
Pubblicazione: (2018)
Принципы формирования и технологии нанесения износостойких покрытий режущего инструмента учебное пособие
di: Табаков В. П.
Pubblicazione: (Ульяновск, УлГТУ, 2023)
di: Табаков В. П.
Pubblicazione: (Ульяновск, УлГТУ, 2023)
Влияние термоциклирования на фазовый состав и упругие макронапряжения в покрытии TiAlN
di: Перевалова О. Б.
Pubblicazione: (2016)
di: Перевалова О. Б.
Pubblicazione: (2016)
Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
di: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Pubblicazione: (2020)
di: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Pubblicazione: (2020)
Способы повышения выхода нитридов в продуктах сгорания в воздухе нанопорошка алюминия и его смесей
di: Ильин А. П. Александр Петрович
Pubblicazione: (2011)
di: Ильин А. П. Александр Петрович
Pubblicazione: (2011)
Magnetron sputtering of Si-Al-N nanocomposite coatings on quartz for protection against impacts of high speed microparticles
Pubblicazione: (2017)
Pubblicazione: (2017)
Локальная структура покрытий на основе нитрида титана
Pubblicazione: (2016)
Pubblicazione: (2016)
Химия и технология технических силикатов [сборник статей]
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МХТИ, 1980)
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МХТИ, 1980)
Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана
di: Фу Сияо
Pubblicazione: (2017)
di: Фу Сияо
Pubblicazione: (2017)
Исследование структуры нанокристаллических покрытий на основе нитрида титана матодом порошковой дифрактометрии с синхронным излучением
di: Галимов Р. М.
Pubblicazione: (2009)
di: Галимов Р. М.
Pubblicazione: (2009)
Effect of Aluminum Content on the Performance of Coatings Based on Al-Si-N
Pubblicazione: (2016)
Pubblicazione: (2016)
Водородопроницаемость покрытий нитрида титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
di: Чжан Ле
Pubblicazione: (2017)
di: Чжан Ле
Pubblicazione: (2017)
Study on the influence of the magnetron power supply on the properties of the Silicon Nitride films
Pubblicazione: (2017)
Pubblicazione: (2017)
The Properties and Fracture Behavior of Ion Plasma Sprayed TiN Coating on Stainless Steel Substrate
Pubblicazione: (2015)
Pubblicazione: (2015)
Неметаллические тугоплавкие соединения
Pubblicazione: (Москва, Металлургия, 1985)
Pubblicazione: (Москва, Металлургия, 1985)
Effect of bias potential on the structure and distribution of elements in titanium-nitride coatings obtained by cathodic-arc deposition
Pubblicazione: (2016)
Pubblicazione: (2016)
Исследование и применение широкозонных полупроводников сборник научных трудов
Pubblicazione: (Ленинград, Изд-во ЛЭТИ, 1982)
Pubblicazione: (Ленинград, Изд-во ЛЭТИ, 1982)
Прямой плазмодинамический синтез и получение ультрадисперсных композиций в системе Ti-Si-N
Pubblicazione: (2017)
Pubblicazione: (2017)
Documenti analoghi
-
Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N
di: Пузанова К. С.
Pubblicazione: (2014) -
Получение керамики на основе Si3N4 И TiN методом искрового плазменного спекания
di: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Pubblicazione: (2015) -
Влияние добавки [alpha]-Si[3]N[4] на свойства композиционного материала, получаемого в системе AlN - [beta]-Si[3]N[4]
di: Орехов А. С.
Pubblicazione: (2020) -
Свойства покрытий TiAlN, полученных методом вакуумно-дугового испарения
di: Гусс Л. Е.
Pubblicazione: (2019) -
Влияние температуры осаждения нанокомпозитных покрытий Al-Si-N на микротвердость и светопропускание кварцевого стекла
di: Рыбалко Е. В.
Pubblicazione: (2015)