Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика.— 2009.— [С. 147-150] |
|---|---|
| その他の著者: | , , , , |
| 要約: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Путём вакуумного магнетронного осаждения при одновременной работе двух магнетронов получены нанокомпозитные покрытия на основе системы Ti-Al-Si-N. Исследовано влияние параметров магнетронного распыления разных мишеней на химический состав и микротвердость покрытия. С помощью рентгеноструктурного анализа определен фазовый состав и средний размер субзёрен основной фазы в полученных покрытиях Ti-Al-Si-N. |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
2009
|
| シリーズ: | Математика и механика. Физика |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2009/v315/i2/33.pdf |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=176684 |