Отработка методов контроля технологических режимов для получения стабильных элементов гибридных интегральных схем частного применения: отчет о НИР; тема: № 96/71

Bibliografische gegevens
Coauteur:	Томский политехнический институт (ТПИ) (595)
Andere auteurs:	Лисицын В. М. Виктор Михайлович (руководитель)
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	Томск, 1973
Onderwerpen:	отчеты о НИР технологические режимы гибридные интегральные схемы частное применение контроль подложки люминесцентный метод пленки физические параметры напыление хранение труды учёных ТПУ
Formaat:	Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169891

Omschrijving
Fysieke beschrijving:	61 л.

Gelijkaardige items