Отработка методов контроля технологических режимов для получения стабильных элементов гибридных интегральных схем частного применения: отчет о НИР; тема: № 96/71

Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu:	Томский политехнический институт (ТПИ) (595)
Altres autors:	Лисицын В. М. Виктор Михайлович (руководитель)
Idioma:	rus
Publicat:	Томск, 1973
Matèries:	отчеты о НИР технологические режимы гибридные интегральные схемы частное применение контроль подложки люминесцентный метод пленки физические параметры напыление хранение труды учёных ТПУ
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169891

Ítems similars