Плазменная установка для нанесения теплосберегающих покрытий

Бібліографічні деталі
Parent link:Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000-
Т. 307, № 6.— 2004.— [С. 53-59]
Інші автори: Ананьин П. С. Петр Семенович, Асаинов О. Х. Олег Хайдарович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич, Жуков В. В., Зоркальцев А. А., Косицын Л. Г., Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Лебедев Е. В., Легостаев В. Н. Виктор Никифорович, Меркулов С. В. Степан Вадимович, Михайлов М. Н., Нечаев М. А., Носкова Т. Г., Пащенко О. В. Олег Валентинович, Пузыревич А. Г., Умнов С. П. Сергей Павлович, Юдаков С. В. Сергей Владимирович, Янин С. Н. Сергей Николаевич
Резюме:Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
Описана плазменная установка для нанесения теплоотражающих (низкоэмиссионных) покрытий на поверхность листового стекла. Она имеет вакуумные камеры, в которых размещены источники плазмы магнетронного типа и ионных пучков для очистки обрабатываемых изделий. Содержит устройство оптического контроля толщины покрытий, систему сканирования обрабатываемых изделий относительно пучков ионов и потоков плазмы, шлюзовую камеру для их загрузки и другие устройства, обеспечивающие высокое качество покрытий. Описаны её структура, характеристики основных элементов, технические параметры, некоторые особенности эксплуатации.
Опубліковано: 2004
Серія:Технические науки
Предмети:
Онлайн доступ:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i6/11.pdf
Формат: Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169883
Опис
Фізичний опис:1 файл (1.5 Мб)
Резюме:Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
Описана плазменная установка для нанесения теплоотражающих (низкоэмиссионных) покрытий на поверхность листового стекла. Она имеет вакуумные камеры, в которых размещены источники плазмы магнетронного типа и ионных пучков для очистки обрабатываемых изделий. Содержит устройство оптического контроля толщины покрытий, систему сканирования обрабатываемых изделий относительно пучков ионов и потоков плазмы, шлюзовую камеру для их загрузки и другие устройства, обеспечивающие высокое качество покрытий. Описаны её структура, характеристики основных элементов, технические параметры, некоторые особенности эксплуатации.