Плазменная установка для нанесения теплосберегающих покрытий
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 307, № 6.— 2004.— [С. 53-59] |
|---|---|
| Інші автори: | , , , , , , , , , , , , , , , , , , |
| Резюме: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Описана плазменная установка для нанесения теплоотражающих (низкоэмиссионных) покрытий на поверхность листового стекла. Она имеет вакуумные камеры, в которых размещены источники плазмы магнетронного типа и ионных пучков для очистки обрабатываемых изделий. Содержит устройство оптического контроля толщины покрытий, систему сканирования обрабатываемых изделий относительно пучков ионов и потоков плазмы, шлюзовую камеру для их загрузки и другие устройства, обеспечивающие высокое качество покрытий. Описаны её структура, характеристики основных элементов, технические параметры, некоторые особенности эксплуатации. |
| Опубліковано: |
2004
|
| Серія: | Технические науки |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i6/11.pdf |
| Формат: | Електронний ресурс Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169883 |
| Фізичний опис: | 1 файл (1.5 Мб) |
|---|---|
| Резюме: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Описана плазменная установка для нанесения теплоотражающих (низкоэмиссионных) покрытий на поверхность листового стекла. Она имеет вакуумные камеры, в которых размещены источники плазмы магнетронного типа и ионных пучков для очистки обрабатываемых изделий. Содержит устройство оптического контроля толщины покрытий, систему сканирования обрабатываемых изделий относительно пучков ионов и потоков плазмы, шлюзовую камеру для их загрузки и другие устройства, обеспечивающие высокое качество покрытий. Описаны её структура, характеристики основных элементов, технические параметры, некоторые особенности эксплуатации. |