Плазменная установка для нанесения теплосберегающих покрытий

Плазменная установка для нанесения теплосберегающих покрытий

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 307, № 6.— 2004.— [С. 53-59]
Other Authors:	Ананьин П. С. Петр Семенович, Асаинов О. Х. Олег Хайдарович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич, Жуков В. В., Зоркальцев А. А., Косицын Л. Г., Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Лебедев Е. В., Легостаев В. Н. Виктор Никифорович, Меркулов С. В. Степан Вадимович, Михайлов М. Н., Нечаев М. А., Носкова Т. Г., Пащенко О. В. Олег Валентинович, Пузыревич А. Г., Умнов С. П. Сергей Павлович, Юдаков С. В. Сергей Владимирович, Янин С. Н. Сергей Николаевич
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Описана плазменная установка для нанесения теплоотражающих (низкоэмиссионных) покрытий на поверхность листового стекла. Она имеет вакуумные камеры, в которых размещены источники плазмы магнетронного типа и ионных пучков для очистки обрабатываемых изделий. Содержит устройство оптического контроля толщины покрытий, систему сканирования обрабатываемых изделий относительно пучков ионов и потоков плазмы, шлюзовую камеру для их загрузки и другие устройства, обеспечивающие высокое качество покрытий. Описаны её структура, характеристики основных элементов, технические параметры, некоторые особенности эксплуатации.
Published:	2004
Series:	Технические науки
Subjects:	плазменная установка теплосберегающие покрытия поверхность листовые стекла вакуумные камеры источники плазма магнетронный тип ионные пучки очистка обрабатываемые изделия устройства оптический контроль системы сканирование потоки шлюзовая камера структуры характеристики элементы технические параметры эксплуатация теплоотражающие покрытия труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i6/11.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169883

Internet

http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i6/11.pdf