Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 4
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 307, № 4.— 2004.— [С. 71-74] |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , , , , , , , |
| Zusammenfassung: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Приводятся результаты экспериментальных исследований закономерностей массопереноса в системах Ti-Si, Ti-Fe при многократных чередующихся процессах "ионная имплантация − облучение мощным ионным пучком" с удельным энерговкладом≤2,0 Дж/см2. Проведен анализ конечного состояния поверхности образцов; особое внимание уделено выбору режимов обработки, обеспечивающих увеличение глубины внедрения имплантированной примеси и улучшение морфологии поверхности. |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
2004
|
| Schriftenreihe: | Технические науки |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i4/14.pdf |
| Format: | Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169725 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 169725 | ||
| 005 | 20240209123356.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\184089 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\184081 | ||
| 090 | |a 169725 | ||
| 100 | |a 20091117d2004 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков |f А. В. Петров [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (2.4 Мб) | ||
| 225 | 1 | |a Технические науки | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 74 (13 назв.)] | ||
| 330 | |a Приводятся результаты экспериментальных исследований закономерностей массопереноса в системах Ti-Si, Ti-Fe при многократных чередующихся процессах "ионная имплантация − облучение мощным ионным пучком" с удельным энерговкладом≤2,0 Дж/см2. Проведен анализ конечного состояния поверхности образцов; особое внимание уделено выбору режимов обработки, обеспечивающих увеличение глубины внедрения имплантированной примеси и улучшение морфологии поверхности. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\176237 |t Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2000- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\184014 |t Т. 307, № 4 |v [С. 71-74] |d 2004 |p 194 с. | |
| 610 | 1 | |a массоперенос | |
| 610 | 1 | |a имплантированные примеси | |
| 610 | 1 | |a материалы | |
| 610 | 1 | |a многократное воздействие | |
| 610 | 1 | |a ионные пучки | |
| 610 | 1 | |a результаты | |
| 610 | 1 | |a закономерности | |
| 610 | 1 | |a системы | |
| 610 | 1 | |a ионная имплантация | |
| 610 | 1 | |a облучение | |
| 610 | 1 | |a удельный энерговклад | |
| 610 | 1 | |a анализы | |
| 610 | 1 | |a образцы | |
| 610 | 1 | |a обработка | |
| 610 | 1 | |a внедрение | |
| 610 | 1 | |a морфология поверхности | |
| 610 | 1 | |a исследования | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 701 | 1 | |a Петров |b А. В. |c специалист в области электротехники |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1939- |g Александр Васильевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27884 |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Полковникова |b Н. М. | |
| 701 | 1 | |a Рябчиков |b А. И. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1950- |g Александр Ильич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006 | |
| 701 | 1 | |a Сохорева |b В. В. |c физик |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1944- |g Валентина Викторовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28149 |4 070 |9 13107 | |
| 701 | 1 | |a Степанов |b И. Б. |c физик |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1968- |g Игорь Борисович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466 |4 070 |9 12169 | |
| 701 | 1 | |a Струц |b В. К. | |
| 701 | 1 | |a Усов |b Ю. П. |c российский ученый, электротехник |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1937- |g Юрий Петрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19875 |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Шулепов |b И. А. |c физик |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1954- |g Иван Анисимович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219 |4 070 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20210727 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i4/14.pdf | |
| 942 | |c CF | ||