Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков

Массоперенос первоначально имплантированной примеси в материалах при многократном воздействии мощных ионных пучков

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 307, № 4.— 2004.— [С. 71-74]
Other Authors:	Петров А. В. Александр Васильевич, Полковникова Н. М., Рябчиков А. И. Александр Ильич, Сохорева В. В. Валентина Викторовна, Степанов И. Б. Игорь Борисович, Струц В. К., Усов Ю. П. Юрий Петрович, Шулепов И. А. Иван Анисимович
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Приводятся результаты экспериментальных исследований закономерностей массопереноса в системах Ti-Si, Ti-Fe при многократных чередующихся процессах "ионная имплантация − облучение мощным ионным пучком" с удельным энерговкладом≤2,0 Дж/см2. Проведен анализ конечного состояния поверхности образцов; особое внимание уделено выбору режимов обработки, обеспечивающих увеличение глубины внедрения имплантированной примеси и улучшение морфологии поверхности.
Language:	Russian
Published:	2004
Series:	Технические науки
Subjects:	массоперенос имплантированные примеси материалы многократное воздействие ионные пучки результаты закономерности системы ионная имплантация облучение удельный энерговклад анализы образцы обработка внедрение морфология поверхности исследования труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i4/14.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169725

Internet

http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i4/14.pdf